1、設備參數

1)電流測量分辨率：10fA;

2)電壓測量分辨率：0.5uV;

3)電壓輸出範圍：±200V;

4)電流輸出範圍：±1A;

5)具有4個源測量單元，分別對CMOS,FET器件的三個端子和襯底施加激勵和測試;

6)支持準靜態和中頻電容-電壓測試，頻率範圍：1kHz~5MHz;

7)電容C測量精度：±0.1%@1kHz 100nF;

8)支持電容采樣的C-t功能;

9)IV-CV測試切換開關，滿足一次連接多次測量的;

10)最小脈衝寬度：50ns。

2、簡介

Keysight B1500A半導體參數分析儀是一款能夠提供IV、CV、脈衝/動態IV等豐富功能的綜合分析儀，支持器件、材料、半導體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試。

3、功能(應用)

1)在0.1fA~1A/0.5µV~200V範圍內執行精確的電流-電壓(IV)測量，支持點測量、掃描測量、采樣和脈衝測量;

2)在1kHz至5MHz頻率範圍內執行交流電容測量，支持準靜態電容-電壓(QS-CV)測量；

3)先進的脈衝IV測量和超快IV測量，最低采樣間隔為5ns(200MSa/s)；

4)高達40V的高壓脈勢，適用於非易失存儲器測試。